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真空炉内の空気漏れを防ぐ方法

空気漏れを防ぐ方法 真空炉

1.シールがきれいで、平らで、損傷がなく、弾力性が高いかどうかを確認します。 アルコールと布でシールを清掃し、真空グリースを塗布します。

2.シールが損傷していないか、または十分な柔軟性がないかどうかを確認します。 その場合は、シールを交換する必要があります。

3.定期的にシールリングを交換してください。 シールリングに損傷がない場合でも、バルブの交換などの修理のためにシールリングを取り外す必要がある場合は、再取り付け時に新しいシールリングを取り付けることをお勧めします。

4.スライドバルブポンプ、ルーツポンプ、ディフュージョンポンプを接続するパイプラインシールの漏れ検知、前段バルブステムシールの漏れ検知、防爆装置の漏れ検知等により、上記のシールがないことを確認します。漏れガス。