の場所 真空炉 漏れやすい

1.真空炉本体の外側の漏れやすい場所は、炉扉シール、メインバルブステムシール、空気圧ボールバルブステムシール、ベントバルブスプールシール、防爆バルブスプールシール、プレエキゾーストバルブです。ステムシール、サーモカップルシール、加熱電極シールなど。

2.真空炉内壁の表面をベントします。

3.真空炉室の中間層（炉扉の中間層を含む）とガス冷却システムの水道管に漏れがあります。

4.プリポンプバルブのバルブ本体から空気が漏れており、エアフィリングバルブ（高真空空気圧バタフライバルブ）、エアサプリメントバルブ、圧力分割グループバルブ（減圧バルブ、微調整バルブ、ソレノイドバルブ）があります。 ）充填グループのバルブが漏れています。