위치 진공로 누출되기 쉽습니다

1. 진공로 본체 외부에서 누출되기 쉬운 위치는 노 도어 씰, 메인 밸브 스템 씰, 공압 볼 밸브 스템 씰, 벤트 밸브 스풀 씰, 방폭 밸브 스풀 씰, 사전 배기 밸브입니다. 스템 씰, 열전대 씰, 가열 전극 씰 등

2. 진공로 내벽의 표면이 배기됩니다.

3. 진공로 챔버의 중간층(로 도어의 중간층 포함)과 가스 냉각 시스템의 수도관이 누출됩니다.

4. 프리 펌프 밸브의 밸브 몸체에서 공기가 누출되고 공기 주입 밸브(고진공 공압 버터플라이 밸브), 공기 보충 밸브 및 압력 분할 그룹 밸브(감압 밸브, 미세 조정 밸브, 솔레노이드 밸브 ) 충전 그룹 밸브에서 누출이 발생합니다.