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聚酰亞胺薄膜相關元件及半導體應用

聚酰亞胺薄膜相關元件及半導體應用

1、光刻膠:有些聚酰亞胺也可以做光刻膠。 有負膠和正膠,分辨率可達亞微米級。 與顏料或染料結合可用於彩色濾光片,可大大簡化加工工序。

2、在微電子器件中的應用:作為層間絕緣的介電層,作為緩衝層,可以降低應力,提高成品率。 作為保護層,可以減少環境對器件的影響,也可以屏蔽a粒子,減少或消除器件的軟誤差。 半導體工業使用聚酰亞胺作為高溫粘合劑。 在數字半導體材料和MEMS系統芯片的生產中,聚酰亞胺層具有良好的機械延展性和抗拉強度,有助於提高聚酰亞胺層的性能。 以及聚酰亞胺層與沈積在其上的金屬層之間的附著力。 聚酰亞胺的高溫和化學穩定性起到將金屬層與各種外部環境隔離的作用。

3、液晶顯示器用取向劑:聚酰亞胺在TN-LCD、SHN-LCD、TFT-CD及未來鐵電液晶顯示器的取向劑材料中佔有非常重要的地位。

4、電光材料:用作無源或有源波導材料、光開關材料等,含氟聚酰亞胺在通信波長范圍內是透明的,聚酰亞胺作為髮色團的基體可以提高材料的穩定性。

5、濕敏材料:利用吸濕線性膨脹的原理,可製作濕度傳感器。