真空焼結炉の漏れ検知方法

真空焼結炉でのリーク検出には多くの方法があります。試験装置の状態により、気泡漏れ検知、ブースト圧力漏れ検知、ヘリウム質量分析漏れ検知のXNUMX種類に分類できます。

1、気泡漏れ検知方法

気泡漏れの検出方法は、検査部分に空気を押し込み、水に浸すか、疑わしい面に石鹸を塗る方法です。検査部に漏れがあると石鹸が泡立ち、泡を観察することで判断できます。リークの存在と場所。この漏れ検知方法は、主に検査対象の真空炉の接続部がフランジボルトで接続されており、陽圧に耐えられる場合に使用され、小型の真空焼結炉や真空パイプラインでの漏れ検知に使用できます。真空焼結炉の構造が複雑で、体積が大きく、接合面が多い場合は、通常、漏れ検知の初期段階で気泡漏れ検知法を使用します。この方法は経済的で実用的であり、より良いリーク検出結果を達成できます。

2、ブーストリーク検出方法

圧力上昇リーク検出方法は、テストされたコンテナ内の真空が100Pa未満に達したときに、疑わしいリークにアセトンなどの揮発性液体を適用することです。漏れがある場合、アセトンガスは漏れを通してテストされた容器の内部に入ります。真空監視装置に表示されている圧力から、装置に漏れがあるかどうかを判断し、突然の明らかな増加があるかどうかを判断し、漏れの存在と場所を特定します。真空焼結炉のリーク検知の中間段階、すなわち気泡リーク検知方式で機器のリークを完全に検出できない場合、ブーストリーク検知方式により機器のリークをさらに検知することができ、効果は良好です。

3、ヘリウム質量分析リーク検出法

ヘリウム質量分析リーク検出は、一般的で信頼性の高い真空炉リーク検出方法です。ヘリウム質量分析計のリークディテクタの磁気偏向原理を使用し、リークガスヘリウムに敏感で、リーク検出方法を決定します。このリーク検出方法は、ヘリウムの強力な浸透、容易な流れ、および容易な拡散を最大限に活用します。リーク検出プロセスは、簡単に妨害されることはなく、誤判定されることもなく、応答も高速です。真空焼結炉を試験するときは、まずパイプラインを膨らませ、必要に応じて漏れ検知器を接続し、漏れ検知器の監視ポイントを前の真空パイプラインに可能な限り接続します。次に、リーク検出ポイントのリーク検出シーケンスを検討します。一般的には、真空チャンバーのドアのシールリングなど、頻繁にアクティブになる真空部分が優先され、次に、真空ゲージ、真空パイプラインの外部フランジなどの真空システムの静的接点が優先されます。、などが考慮され、次に空気システムと水システムが続きます。