真空燒結爐檢漏方法

真空燒結爐的檢漏方法很多。根據被測設備的狀態，可分為氣泡檢漏、增壓檢漏和氦質譜檢漏三種。

1、氣泡檢漏法

氣泡洩漏檢測方法是將空氣壓入被檢測部分，然後將其浸入水中或在可疑表面塗上肥皂。如果被檢查部位有洩漏，肥皂就會起泡，這可以通過觀察氣泡來判斷。洩漏的存在和位置。這種檢漏方法主要用於被檢真空爐的連接採用法蘭螺栓連接並能承受正壓的場合，可用於小型真空燒結爐或真空管道的檢漏。如果真空燒結爐結構複雜、體積大、接合面多，在檢漏初期通常採用氣泡檢漏法。該方法經濟實用，能取得較好的檢漏效果。

2、升壓檢漏法

升壓檢漏法是當被測容器內的真空度達到100Pa以下時，將丙酮等揮發性液體施加於疑似洩漏處。如果有洩漏，丙酮氣體將通過洩漏進入被測容器內部。從真空監測儀上顯示的壓力是否有突然明顯的增加來判斷設備是否有洩漏，確定洩漏的存在和位置。在真空燒結爐檢漏的中間階段，即氣泡檢漏法不能完全發現設備洩漏時，升壓檢漏法可以進一步檢測設備的洩漏，效果良好。

3、氦質譜檢漏法

氦質譜檢漏是一種常用且較為可靠的真空爐檢漏方法。它利用氦質譜檢漏儀的磁偏轉原理，對洩漏的氦氣敏感，從而確定檢漏方法。這種檢漏方法充分利用了氦氣的強滲透、易流動、易擴散的特性。檢漏過程不易受干擾，不會誤判，反應速度快。真空燒結爐檢測時，先給管道充氣，按要求連接檢漏儀，檢漏儀監測點盡量與前道真空管道相連；其次，考慮檢漏點的檢漏順序。一般來說，以經常活動的真空部分為主，如真空室門的密封圈等，其次是真空系統的靜態接觸點，如真空表、真空管道的外法蘭等，其次是空氣系統和水系統。