วิธีการตรวจหารอยรั่วสำหรับ เตาเผาผนึกสูญญากาศ

มีหลายวิธีในการตรวจจับรอยรั่วในเตาเผาผนึกสุญญากาศ ตามสถานะของอุปกรณ์ที่จะทำการทดสอบ สามารถแบ่งออกเป็นสามประเภท: การตรวจจับการรั่วไหลของฟองอากาศ การตรวจจับการรั่วไหลของแรงดันเพิ่ม และการตรวจจับการรั่วไหลของมวลฮีเลียม

1, วิธีการตรวจจับฟองรั่ว

วิธีการตรวจหารอยรั่วของฟองอากาศคือการกดอากาศเข้าไปในส่วนที่ตรวจสอบ จากนั้นจุ่มลงในน้ำหรือทาสบู่กับพื้นผิวที่น่าสงสัย หากมีการรั่วในส่วนที่ตรวจสอบ สบู่จะเกิดฟองขึ้น ซึ่งสามารถตัดสินได้จากการสังเกตฟองสบู่ การมีอยู่และตำแหน่งของการรั่วไหล วิธีการตรวจจับรอยรั่วนี้ใช้เป็นหลักในโอกาสที่การเชื่อมต่อของเตาสุญญากาศที่จะตรวจสอบนั้นเชื่อมต่อกันด้วยสลักเกลียวของหน้าแปลนและสามารถทนต่อแรงดันบวก และสามารถใช้สำหรับการตรวจจับรอยรั่วในเตาเผาผนึกสุญญากาศขนาดเล็กหรือท่อส่งสุญญากาศ หากเตาเผาผนึกสูญญากาศมีโครงสร้างที่ซับซ้อน ปริมาณมาก และพื้นผิวข้อต่อจำนวนมาก มักจะใช้วิธีการตรวจจับฟองรั่วในการตรวจจับรอยรั่วในระยะแรก วิธีนี้ประหยัดและใช้งานได้จริง และสามารถบรรลุผลการตรวจจับการรั่วไหลได้ดีขึ้น

2 เพิ่มวิธีการตรวจจับการรั่วไหล

วิธีการตรวจหารอยรั่วที่เพิ่มแรงดันคือการใช้ของเหลวระเหยง่าย เช่น อะซิโตน กับการรั่วไหลที่น่าสงสัยเมื่อสุญญากาศในภาชนะที่ทดสอบมีค่าต่ำกว่า 100 Pa หากมีการรั่วไหล ก๊าซอะซิโตนจะเข้าสู่ภายในของภาชนะที่ทดสอบผ่านรอยรั่ว ตรวจสอบว่ามีการรั่วไหลในอุปกรณ์จากแรงดันที่แสดงบนเครื่องมือตรวจสอบสูญญากาศหรือไม่ว่ามีการเพิ่มขึ้นอย่างฉับพลันและชัดเจนหรือไม่ และระบุการมีอยู่และตำแหน่งของการรั่วไหล ในช่วงกลางของการตรวจจับการรั่วของเตาเผาผนึกสูญญากาศ นั่นคือ เมื่อวิธีการตรวจจับการรั่วไหลของฟองสบู่ไม่พบการรั่วไหลของอุปกรณ์อย่างสมบูรณ์ วิธีการตรวจจับการรั่วที่เพิ่มขึ้นสามารถตรวจจับการรั่วของอุปกรณ์เพิ่มเติมได้ และผลที่ได้คือดี

3 วิธีตรวจจับการรั่วไหลของมวลฮีเลียมสเปกโตรเมทรี

การตรวจจับการรั่วไหลของมวลสารฮีเลียมเป็นวิธีการตรวจจับการรั่วของเตาสุญญากาศที่ใช้กันทั่วไปและเชื่อถือได้มากขึ้น ใช้หลักการโก่งตัวแม่เหล็กของเครื่องตรวจจับการรั่วของมวลฮีเลียม และมีความไวต่อก๊าซฮีเลียมรั่ว เพื่อกำหนดวิธีการตรวจจับการรั่วไหล วิธีการตรวจหารอยรั่วนี้ใช้ประโยชน์จากการเจาะที่แข็งแกร่ง การไหลที่ง่ายดาย และการแพร่กระจายของฮีเลียมอย่างง่ายดาย กระบวนการตรวจจับการรั่วไหลนั้นไม่ง่ายที่จะถูกรบกวน จะไม่ถูกตัดสินผิด และมีการตอบสนองที่รวดเร็ว เมื่อทำการทดสอบเตาเผาผนึกสุญญากาศ ขั้นแรกให้ขยายท่อ ต่อเครื่องตรวจจับรอยรั่วตามต้องการ และเชื่อมต่อจุดตรวจสอบตัวตรวจจับรอยรั่วกับท่อส่งสุญญากาศก่อนหน้าให้มากที่สุด ประการที่สอง พิจารณาลำดับการตรวจจับการรั่วไหลของจุดตรวจจับการรั่วไหล โดยทั่วไปแล้ว ส่วนสูญญากาศที่ใช้งานบ่อยจะได้รับความสำคัญ เช่นแหวนปิดผนึกของประตูห้องสุญญากาศ ฯลฯ จากนั้นจึงกำหนดจุดสัมผัสคงที่ของระบบสูญญากาศ เช่น เกจสูญญากาศ หน้าแปลนภายนอกของท่อส่งสุญญากาศ ฯลฯ ให้พิจารณาตามระบบอากาศและระบบน้ำ