Шингэн алдагдлыг илрүүлэх арга вакуум агшаагч зуух

Вакуум агломерийн зууханд алдагдлыг илрүүлэх олон арга байдаг. Шинжилгээнд хамрагдах тоног төхөөрөмжийн төлөв байдлын дагуу бөмбөлөг алдагдлыг илрүүлэх, даралт ихсэх алдагдлыг илрүүлэх, гелийн масс спектрометрийн алдагдлыг илрүүлэх гэсэн гурван төрөлд хуваагдана.

1, бөмбөлөг гоожиж илрүүлэх арга

Бөмбөлөг гоожиж байгааг илрүүлэх арга нь шалгаж буй хэсэгт агаар шахаж, дараа нь усанд дүрэх эсвэл сэжигтэй гадаргуу дээр саван түрхэх явдал юм. Хэрэв шалгасан хэсэг дээр гоожиж байвал саван нь хөөс үүсэх бөгөөд энэ нь бөмбөлгийг ажиглах замаар шүүгдэж болно. Нэвчилт байгаа эсэх, байршил. Энэхүү гоожих илрүүлэх аргыг голчлон шалгах гэж буй вакуум зуухны холболтыг фланц боолтоор холбосон, эерэг даралтыг тэсвэрлэх чадвартай тохиолдолд ашигладаг бөгөөд жижиг вакуум агломерийн зуух эсвэл вакуум дамжуулах хоолойд алдагдлыг илрүүлэхэд ашиглаж болно. Хэрэв вакуум агломерийн зуух нь нарийн төвөгтэй бүтэцтэй, их хэмжээний эзэлхүүнтэй, олон тооны үе мөчний гадаргуутай бол хөөс илрүүлэх аргыг ихэвчлэн гоожиж илрүүлэх эхний шатанд ашигладаг. Энэ арга нь эдийн засгийн хувьд хэмнэлттэй, практик бөгөөд алдагдлыг илрүүлэх илүү үр дүнд хүрч чадна.

2, гоожиж илрүүлэх аргыг нэмэгдүүлэх

Даралт ихсэх алдагдлыг илрүүлэх арга нь шинжилгээнд хамрагдсан савны вакуум 100Па-аас доош хүрэх үед сэжигтэй гоожиж байгаа газарт ацетон зэрэг дэгдэмхий шингэн түрхэх явдал юм. Хэрэв гоожиж байгаа бол ацетон хий нь гоожих замаар туршсан савны дотор талд орох болно. Вакуум хяналтын багаж дээр харуулсан даралтаас тоног төхөөрөмжид гоожиж байгаа эсэхийг, гэнэтийн бөгөөд илт ихсэж байгаа эсэхийг тодорхойлж, гоожиж байгаа байдал, байршлыг тогтооно. Вакуум агломерийн зуухны алдагдлыг илрүүлэх дунд үе шатанд, өөрөөр хэлбэл, хөөс илрүүлэх арга нь тоног төхөөрөмжийн алдагдлыг бүрэн олж чадахгүй байх үед эрчимжүүлсэн гоожиж илрүүлэх арга нь тоног төхөөрөмжийн алдагдлыг илрүүлж, үр дүн нь сайн байна.

3, гелийн масс спектрометрийн алдагдлыг илрүүлэх арга

Гелийн масс спектрометрийн алдагдлыг илрүүлэх нь вакуум зуухны алдагдлыг илрүүлэх нийтлэг бөгөөд илүү найдвартай арга юм. Энэ нь гелийн массын спектрометрийн алдагдлыг илрүүлэгчийн соронзон хазайлтын зарчмыг ашигладаг бөгөөд гоожиж буй гелийд мэдрэмтгий байдаг тул алдагдлыг илрүүлэх аргыг тодорхойлдог. Нэвчилтийг илрүүлэх энэхүү арга нь гелийн хүчтэй нэвтрэлт, хялбар урсгал, хялбар тархалтыг бүрэн ашигладаг. Нэвчилтийг илрүүлэх үйл явц нь эвдэхэд хялбар биш, буруу дүгнэлт өгөхгүй, хурдан хариу үйлдэл үзүүлдэг. Вакуум агломерийн зуухыг туршихдаа юуны өмнө шугам хоолойг шахаж, шаардлагатай бол гоожих илрүүлэгчийг холбож, алдагдлыг илрүүлэгч хяналтын цэгийг өмнөх вакуум дамжуулах хоолойд аль болох холбоно; хоёрдугаарт, алдагдлыг илрүүлэх цэгийн алдагдлыг илрүүлэх дарааллыг авч үзэх. Ерөнхийдөө вакуум камерын хаалганы битүүмжлэх цагираг гэх мэт байнгын идэвхтэй вакуум хэсгийг, дараа нь вакуум хэмжигч, вакуум дамжуулах хоолойн гадна фланц гэх мэт вакуум системийн статик холбоо барих цэгүүдийг нэн тэргүүнд тавьдаг. гэх мэтийг авч үзсэний дараа агаарын систем, усны систем .