Onderhoudsplan van vakuumoond lekkende posisie

1. Vakuum oond vakuum stelsel spoel klep pomp herstel plan: kyk na die slytasie van die interne dele van die spoel klep pomp, of die as kop seëlring van die spoel klep pomp olie lek, die seël toestand van die uitlaat klep plaat van die uitlaat toestel, en die vakuum olie kring Seël toestand, of die vakuum pomp olie is besmet en toets die uiteindelike vakuum van die skuif klep pomp.

2. Wortelspomp-onderhoudsplan vir vakuumoondvakuumstelsel: kontroleer die gaping tussen die rotor en die rotor van die Roots-pomp, en tussen die rotor en die binnewand van die pompholte, kontroleer die slytasie van ratte en laers, en die toestand van die asseëlring van die Roots-pomp. Kontroleer of die smeerolie aan beide kante van die Roots-pomp besoedel is en toets die uiteindelike vakuum van die Roots-pomp.

3. Onderhoudsplan van diffusiepomp in die vakuumstelsel van vakuumoond: kyk of die posisies en gapings van die spuitpunte op alle vlakke van die pompkern korrek is, of die verwarmingskrag van die pomp en die verkoelingseffek van die pomp self is normaal, of die diffusiepompolie geoksideer is en of die olievolume van die diffusiepomp aan vereistes voldoen. Lekdetectie vir die diffusiepomp en sy gekoppelde pype en kleppe, vakuum meetpunte, koue lokvalle en ander seëls. Toets die uiteindelike vakuum van die diffusiepomp. Kontroleer die temperatuur en vloei van die inlaat- en uitlaatwater van die vakuumoonddiffusiepomp. In baie eenhede is die verkoelingseffek van die diffusiepomp nie goed nie as gevolg van die skaal in die verkoelingswater, wat veroorsaak dat die vakuumgraad nie aan die tegniese indeksvereistes voldoen nie. Waterverkoelers kan ook bygevoeg word.

4. Onderhoudsplan vir die eksterne luglekkasie-deel van die oondbak: die oonddeurseël, die hoofklepsteelseël, die pneumatiese kogelklepsteelseël, die uitlaatklepspoelseël, die ontploffingsvaste klepspoelseël, die voor- onttrekking klep stam seël, en die termokoppel Seël en verwarming elektrode verseëling en ander plekke is verseël vir lek opsporing.

5. Ontluchting instandhoudingsplan vir die binnekant van die vakuumoondliggaam: Verhit die binnekant van die vakuumoondliggaam behoorlik om die geadsorbeerde gas binne die oondliggaam vry te stel en weggepomp te word. Tydens stofsuig word argon en stikstof in die oondliggaam gevul, sodat ‘n deel van die vlugtige materiaal en geadsorbeerde gas saam met die argon en stikstof weggetrek word. Skrop dan die binnewand van die oondbak met alkohol om die geadsorbeerde materiaal te verwyder en die hoeveelheid uitgassing te verminder. Stofsuig die oondkamer vir ‘n lang tyd om die ventilasie van die oondkameroppervlak tot die onderste limiet te verminder.