Piano di manutenzione di forno a vuoto posizione che perde

1. Piano di riparazione della pompa della valvola a spola del sistema del vuoto del forno a vuoto: controllare l’usura delle parti interne della pompa della valvola a spola, se l’anello di tenuta della testa dell’albero della pompa della valvola a spola perde olio, le condizioni di tenuta della piastra della valvola di scarico dello scarico dispositivo e il circuito dell’olio del vuoto Condizioni di tenuta, se l’olio della pompa del vuoto è contaminato e testare il vuoto finale della pompa della valvola a cassetto.

2. Piano di manutenzione della pompa Roots per il sistema sottovuoto del forno a vuoto: controllare lo spazio tra il rotore e il rotore della pompa Roots e tra il rotore e la parete interna della cavità della pompa, controllare l’usura di ingranaggi e cuscinetti e le condizioni dell’anello di tenuta dell’albero della pompa Roots. Controllare se l’olio lubrificante su entrambe le estremità della pompa Roots è contaminato e testare il vuoto finale della pompa Roots.

3. Piano di manutenzione della pompa a diffusione nel sistema sottovuoto del forno a vuoto: verificare se le posizioni e gli spazi degli ugelli a tutti i livelli del nucleo della pompa sono corretti, se la potenza di riscaldamento della pompa e l’effetto di raffreddamento della pompa stessa sono normale, se l’olio della pompa a diffusione è ossidato e se il volume dell’olio della pompa a diffusione soddisfa i requisiti. Rilevamento di perdite per la pompa a diffusione e i relativi tubi e valvole collegati, punti di misurazione del vuoto, trappole fredde e altre guarnizioni. Testare il vuoto finale della pompa a diffusione. Controllare la temperatura e il flusso dell’acqua in ingresso e in uscita della pompa di diffusione del forno a vuoto. In molte unità, l’effetto di raffreddamento della pompa di diffusione non è buono a causa delle incrostazioni nell’acqua di raffreddamento, che fa sì che il grado di vuoto non soddisfi i requisiti dell’indice tecnico. Possono essere aggiunti anche refrigeratori d’acqua.

4. Piano di manutenzione per la parte di trafilamento dell’aria esterna del corpo del forno: la guarnizione della porta del forno, la guarnizione dello stelo della valvola principale, la guarnizione dello stelo della valvola a sfera pneumatica, la guarnizione della bobina della valvola di sfiato, la guarnizione della bobina della valvola antideflagrante, il pre- la guarnizione dello stelo della valvola di estrazione e la termocoppia La tenuta dell’elettrodo di tenuta e riscaldamento e altri punti sono sigillati per il rilevamento delle perdite.

5. Piano di manutenzione dello sfiato per l’interno del corpo del forno a vuoto: riscaldare adeguatamente l’interno del corpo del forno a vuoto per rilasciare il gas adsorbito all’interno del corpo del forno ed essere pompato via. Durante l’aspirazione, l’argon e l’azoto vengono riempiti nel corpo del forno, in modo che parte della materia volatile e del gas adsorbito vengano assorbiti insieme all’argon e all’azoto. Quindi strofinare la parete interna del corpo del forno con alcool per rimuovere la materia adsorbita e ridurre la quantità di degassamento. Aspirare a lungo la camera del forno per ridurre lo sfiato della superficie della camera del forno al limite inferiore.