Plan d’entretien de four sous vide leaking position

1. Plan de réparation de la pompe à tiroir du système de vide du four à vide: vérifiez l’usure des pièces internes de la pompe à tiroir, si la bague d’étanchéité de la tête d’arbre de la pompe à tiroir fuit de l’huile, l’état d’étanchéité de la plaque de soupape d’échappement de l’échappement appareil et le circuit d’huile sous vide État d’étanchéité, si l’huile de la pompe à vide est contaminée et testez le vide limite de la pompe à tiroir.

2. Plan de maintenance de la pompe Roots pour le système de vide du four à vide : vérifiez l’écart entre le rotor et le rotor de la pompe Roots, et entre le rotor et la paroi interne de la cavité de la pompe, vérifiez l’usure des engrenages et des roulements, et l’état de la bague d’étanchéité de l’arbre de la pompe Roots. Vérifiez si l’huile de lubrification aux deux extrémités de la pompe Roots est contaminée et testez le vide limite de la pompe Roots.

3. Maintenance plan of diffusion pump in the vacuum system of vacuum furnace: check whether the positions and gaps of the nozzles at all levels of the pump core are correct, whether the heating power of the pump and the cooling effect of the pump itself are normal, whether the diffusion pump oil is oxidized, and whether the oil volume of the diffusion pump fulfil requirements. Leak detection for the diffusion pump and its connected pipes and valves, vacuum measuring points, cold traps and other seals. Test the ultimate vacuum of the diffusion pump. Check the temperature and flow of the inlet and outlet water of the vacuum furnace diffusion pump. In many units, the cooling effect of the diffusion pump is not good due to the scale in the cooling water, which causes the vacuum degree to fail to meet the technical index requirements. Water chillers can also be added.

4. Maintenance plan for the external air leakage part of the furnace body: the furnace door seal, the main valve stem seal, the pneumatic ball valve stem seal, the vent valve spool seal, the explosion-proof valve spool seal, the pre-extraction valve stem seal, and the thermocouple Sealing and heating electrode sealing and other places are sealed for leak detection.

5. Plan d’entretien de la ventilation pour l’intérieur du corps du four sous vide : Chauffer correctement l’intérieur du corps du four sous vide pour libérer le gaz adsorbé à l’intérieur du corps du four et être pompé. Lors de la mise sous vide, de l’argon et de l’azote sont remplis dans le corps du four, de sorte qu’une partie de la matière volatile et du gaz adsorbé est évacuée avec l’argon et l’azote. Frottez ensuite la paroi interne du corps du four avec de l’alcool pour éliminer la matière adsorbée et réduire la quantité de dégazage. Aspirez la chambre du four pendant une longue période pour réduire la ventilation de la surface de la chambre du four à la limite inférieure.