維修計劃 真空爐 洩漏位置

1、真空爐真空系統滑閥泵維修方案：檢查滑閥泵內部零件磨損情況，滑閥泵軸頭密封圈是否漏油，排氣閥板密封情況裝置，以及真空油路密封情況，真空泵油是否被污染，測試滑閥泵的極限真空度。

2、真空爐真空系統羅茨泵維修方案：檢查羅茨泵轉子與轉子之間的間隙，轉子與泵腔內壁之間的間隙，檢查齒輪和軸承的磨損情況，羅茨泵的軸封環。 檢查羅茨泵兩端的潤滑油是否被污染，並測試羅茨泵的極限真空度。

3、真空爐真空系統擴散泵的維護計劃：檢查泵芯各級噴嘴的位置和間隙是否正確，泵的加熱功率和泵本身的冷卻效果是否正確。是否正常，擴散泵油是否被氧化，擴散泵油量是否滿足要求。 擴散泵及其連接的管道和閥門、真空測量點、冷阱和其他密封件的洩漏檢測。 測試擴散泵的極限真空。 檢查真空爐擴散泵進出口水的溫度和流量。 在許多機組中，由於冷卻水中有水垢，擴散泵的冷卻效果不好，導致真空度達不到技術指標要求。 也可以加裝冷水機。

4、爐體外漏氣部位維修方案：爐門密封、主閥桿密封、氣動球閥桿密封、放空閥閥芯密封、防爆閥閥芯密封、預抽氣閥閥桿密封、熱電偶密封和加熱電極密封等處密封，便於檢漏。

5、真空爐體內部的排氣維護計劃：適當加熱真空爐體內部，使爐體內吸附的氣體釋放出來，並被抽走。 在抽真空的同時，向爐體內充入氬氣和氮氣，使部分揮發物和吸附氣體與氬氣和氮氣一起被抽走。 然後用酒精擦洗爐體內壁，除去吸附物，減少脫氣量。 將爐腔長時間抽真空，以將爐腔表面的排氣降低到下限。