のメンテナンスプラン 真空炉 漏れ位置

1.真空炉真空システムスプールバルブポンプ修理計画：スプールバルブポンプの内部部品の摩耗、スプールバルブポンプのシャフトヘッドシールリングに油が漏れていないか、排気の排気バルブプレートのシール状態を確認します。デバイス、および真空オイル回路シール条件、真空ポンプオイルが汚染されているかどうか、およびスライドバルブポンプの最終真空をテストします。

2.真空炉真空システムのルーツポンプメンテナンスプラン：ルーツポンプのローターとローターの間、およびローターとポンプキャビティの内壁の間のギャップをチェックし、ギアとベアリングの摩耗、および状態をチェックしますルーツポンプのシャフトシールリングの。 ルーツポンプの両端の潤滑油が汚染されていないか確認し、ルーツポンプの極限真空度をテストします。

3.真空炉の真空システムにおける拡散ポンプの保守計画：ポンプコアのすべてのレベルでのノズルの位置とギャップが正しいかどうか、ポンプの加熱力とポンプ自体の冷却効果が正しいかどうかを確認します通常、拡散ポンプのオイルが酸化されているかどうか、および拡散ポンプのオイル量が要件を満たしているかどうか。 拡散ポンプとそれに接続されたパイプとバルブ、真空測定ポイント、コールドトラップおよびその他のシールの漏れ検出。 拡散ポンプの極限真空をテストします。 真空炉拡散ポンプの入口と出口の水の温度と流れを確認してください。 多くのユニットでは、冷却水のスケールが原因で拡散ポンプの冷却効果が良くなく、真空度が技術指標の要件を満たしていない原因になっています。 ウォーターチラーも追加できます。

4.炉本体の外気漏れ部分の保守計画：炉ドアシール、メインバルブステムシール、空気圧ボールバルブステムシール、ベントバルブスプールシール、防爆バルブスプールシール、プレ抽出バルブステムシール、およびサーモカップルシールおよび加熱電極シールおよびその他の場所は、リーク検出のためにシールされています。

5.真空炉本体内部のベントメンテナンス計画：真空炉本体内部を適切に加熱して、炉本体内に吸着したガスを放出し、ポンプで排出します。 真空中にアルゴンと窒素が炉本体に充填されるため、揮発性物質と吸着ガスの一部がアルゴンと窒素とともに引き抜かれます。 次に、炉本体の内壁をアルコールでこすり、吸着物を取り除き、ガス放出量を減らします。 炉室表面の通気を下限まで下げるために、炉室を長時間真空にします。