Plán údržby vakuová pec netěsná poloha

1. Vakuový systém vakuové pece plán opravy čerpadla šoupátkového ventilu: zkontrolujte opotřebení vnitřních částí čerpadla šoupátkového ventilu, zda těsnící kroužek hlavy hřídele čerpadla šoupátkového ventilu prosakuje olej, stav těsnění desky výfukového ventilu výfuku zařízení a vakuový olejový okruh Stav těsnění, zda je olej vakuové pumpy znečištěný, a otestujte maximální vakuum pumpy s posuvným ventilem.

2. Plán údržby Rootsova čerpadla pro vakuový systém vakuové pece: zkontrolujte mezeru mezi rotorem a rotorem Rootsova čerpadla a mezi rotorem a vnitřní stěnou dutiny čerpadla, zkontrolujte opotřebení ozubených kol a ložisek a stav těsnicího kroužku hřídele Rootsova čerpadla. Zkontrolujte, zda není mazací olej na obou koncích Rootsovy pumpy znečištěný, a otestujte maximální vakuum Rootsovy pumpy.

3. Plán údržby difuzního čerpadla ve vakuovém systému vakuové pece: zkontrolujte, zda jsou správné polohy a mezery trysek na všech úrovních jádra čerpadla, zda je topný výkon čerpadla a chladicí účinek samotného čerpadla normální, zda je olej difuzního čerpadla zoxidovaný a zda objem oleje difuzního čerpadla splňuje požadavky. Detekce netěsností pro difuzní čerpadlo a jeho připojená potrubí a ventily, vakuová měřicí místa, odlučovače a další těsnění. Otestujte maximální vakuum difuzního čerpadla. Zkontrolujte teplotu a průtok vstupní a výstupní vody difúzního čerpadla vakuové pece. V mnoha jednotkách není chladicí účinek difuzního čerpadla dobrý kvůli usazeninám v chladicí vodě, což způsobuje, že stupeň vakua nesplňuje požadavky na technický index. Lze přidat i chladiče vody.

4. Plán údržby pro vnější část tělesa pece s únikem vzduchu: těsnění dvířek pece, těsnění dříku hlavního ventilu, těsnění dříku pneumatického kulového ventilu, těsnění šoupátka odvzdušňovacího ventilu, těsnění šoupátka ventilu odolného proti výbuchu, předběžná těsnění dříku extrakčního ventilu a termočlánek Těsnění a těsnění topné elektrody a další místa jsou utěsněna pro detekci netěsností.

5. Plán údržby odvětrávání vnitřku tělesa vakuové pece: Řádně zahřejte vnitřek tělesa vakuové pece, aby se uvolnil adsorbovaný plyn uvnitř tělesa pece a byl odčerpán. Při vakuování se do tělesa pece plní argon a dusík, takže část těkavých látek a adsorbovaného plynu jsou odváděny spolu s argonem a dusíkem. Poté vydrhněte vnitřní stěnu tělesa pece alkoholem, abyste odstranili adsorbované látky a snížili množství odplynění. Vysávejte komoru pece po dlouhou dobu, aby se omezilo odvětrání povrchu komory pece na spodní hranici.