의 유지 관리 계획 진공로 누출 위치

1. 진공로 진공 시스템 스풀 밸브 펌프 수리 계획: 스풀 밸브 펌프의 내부 부품 마모, 스풀 밸브 펌프의 샤프트 헤드 밀봉 링에서 오일 누출 여부, 배기의 배기 밸브 플레이트 밀봉 상태 확인 장치 및 진공 오일 회로 밀봉 상태, 진공 펌프 오일이 오염되었는지 여부 및 슬라이드 밸브 펌프의 궁극적인 진공을 테스트합니다.

2. 진공로 진공 시스템의 루츠 펌프 유지 관리 계획: 루츠 펌프의 로터와 로터 사이, 로터와 펌프 캐비티 내벽 사이의 간격을 확인하고 기어 및 베어링의 마모 및 상태를 확인합니다. 루츠 펌프의 샤프트 씰 링. 루츠 펌프 양쪽 끝의 윤활유가 오염되었는지 확인하고 루츠 펌프의 극한 진공도를 테스트합니다.

3. 진공로의 진공 시스템에서 확산 펌프의 유지 관리 계획: 펌프 코어의 모든 수준에서 노즐의 위치와 간격이 올바른지, 펌프의 화력 및 펌프 자체의 냉각 효과가 올바른지 여부를 확인하십시오. 정상, 확산 펌프 오일이 산화되었는지 여부, 확산 펌프의 오일량이 요구 사항을 충족하는지 여부. 확산 펌프와 연결된 파이프 및 밸브, 진공 측정 지점, 콜드 트랩 및 기타 씰에 대한 누출 감지. 확산 펌프의 궁극적인 진공을 테스트합니다. 진공로 확산 펌프의 입구 및 출구 물의 온도와 흐름을 확인하십시오. 많은 장치에서 확산 펌프의 냉각 효과는 냉각수의 스케일로 인해 좋지 않아 진공도가 기술 지표 요구 사항을 충족하지 못하게합니다. 물 냉각 장치도 추가할 수 있습니다.

4. 퍼니스 본체의 외부 공기 누출 부분에 대한 유지 보수 계획: 퍼니스 도어 씰, 메인 밸브 스템 씰, 공압 볼 밸브 스템 씰, 벤트 밸브 스풀 씰, 방폭 밸브 스풀 씰, 예비 추출 밸브 스템 씰 및 열전대 씰링 및 가열 전극 씰링 및 기타 장소는 누출 감지를 위해 밀봉됩니다.

5. 진공로 본체 내부 환기 유지 관리: 진공로 본체 내부를 적절히 가열하여 노 본체 내부에 흡착된 가스를 방출하고 펌핑 제거합니다. 진공 청소기로 청소하는 동안 아르곤과 질소가 노 본체에 채워져 휘발성 물질과 흡착 가스의 일부가 아르곤 및 질소와 함께 제거됩니다. 그런 다음 알코올로 노 본체의 내벽을 문질러 흡착 물질을 제거하고 가스 방출량을 줄입니다. 퍼니스 챔버 표면의 환기를 하한까지 줄이기 위해 오랫동안 퍼니스 챔버를 진공 청소기로 청소하십시오.