ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಂಯೋಜನೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣದ ಕುಲುಮೆ

ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣದ ಕುಲುಮೆಯು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಫರ್ನೇಸ್ ಬಾಡಿ, ಹೀಟಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್, ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸಿಸ್ಟಮ್, ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್, ಕೂಲಿಂಗ್ ಸರ್ಕ್ಯುಲೇಷನ್ ಸಿಸ್ಟಮ್, ನ್ಯೂಮ್ಯಾಟಿಕ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಮತ್ತು ಮೆಟೀರಿಯಲ್ ಟ್ರಕ್‌ನಿಂದ ಕೂಡಿದೆ.

1. ಕುಲುಮೆ

(1) ಕುಲುಮೆಯ ದೇಹ: ಕುಲುಮೆಯ ದೇಹವು ತಾಪಮಾನ ಮಾಪನ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್, ನಿರ್ವಾತ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್, ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್, ಏರ್-ಕೂಲಿಂಗ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್, ಇತ್ಯಾದಿ. ನಿರ್ವಾತ ಕನೆಕ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಫ್ಲೇಂಜ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ವಿವಿಧ ವಿಶೇಷಣಗಳ ಮೂಲಕ, ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಮಾಡುವಿಕೆ. ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು, ನೀರು ತಂಪಾಗುವ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಲಾಗಿದೆ; ಕುಲುಮೆಯ ದೇಹದಲ್ಲಿ ತಾಪನ ಕೊಠಡಿ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಮಾಪನಕ್ಕಾಗಿ ಉಷ್ಣಯುಗ್ಮಗಳನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಲಾಗಿದೆ.

(2) ಕುಲುಮೆಯ ಬಾಗಿಲು: ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣದ ಕುಲುಮೆಯ ಬಾಗಿಲು ಎರಡು-ಪದರದ ನೀರು-ತಂಪಾಗುವ ಗೋಡೆಯ ರಚನೆಯಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ತಳ್ಳುವ ಮತ್ತು ಎಳೆಯುವ ಮೂಲಕ ಕೈಯಾರೆ ತೆರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ; ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣದ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ತಾಪನ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ವೀಕ್ಷಿಸಲು ಕುಲುಮೆಯ ಬಾಗಿಲಿನ ಮೇಲೆ ವೀಕ್ಷಣಾ ವಿಂಡೋವನ್ನು ಹೊಂದಿಸಲಾಗಿದೆ.

(3) ಸೀಲಿಂಗ್: ಕುಲುಮೆಯ ದೇಹ ಮತ್ತು ಕುಲುಮೆಯ ಬಾಗಿಲಿನ ನಡುವೆ ಟ್ರೆಪೆಜೋಡಲ್ ಗ್ರೂವ್ ಸೀಲಿಂಗ್ ರಚನೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸೀಲಿಂಗ್ ರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ, ಇದು ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣದ ಕುಲುಮೆಯ ಸೀಲಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

2. ತಾಪನ ಚೇಂಬರ್

(1) ವಸ್ತು: ಹೀಟಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್ ಒಂದು ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ರಚನೆಯಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಫ್ರೇಮ್ ಸ್ಟೇನ್ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ; ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣದ ಕುಲುಮೆಯ ಕುಲುಮೆಯ ದೇಹವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಲು ಮತ್ತು ನಿರ್ಗಮಿಸಲು ಕೆಳಭಾಗದಲ್ಲಿ ಎರಡು ಸೆಟ್ ಪುಲ್ಲಿಗಳಿವೆ, ಕುಲುಮೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಮತ್ತು ಬದಲಾಯಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗುತ್ತದೆ.

(2) ಥರ್ಮಲ್ ಇನ್ಸುಲೇಶನ್ ಲೇಯರ್: ಥರ್ಮಲ್ ಇನ್ಸುಲೇಶನ್ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಥರ್ಮಲ್ ಇನ್ಸುಲೇಶನ್ ಲೇಯರ್ ಒಳಗಿನ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಶೀಟ್ ರಚನೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಅದೇ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಅನಿಲದಿಂದ ತಾಪನ ಕೋಣೆಗೆ ಹಾನಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪನ ಚೇಂಬರ್ನ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.

(3) ತಾಪನ ಅಂಶ: ತಾಪನ ಅಂಶವು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್ ತಾಪನ ಅಂಶದಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಇದು ಸುತ್ತಳತೆಯ ಸುತ್ತಲೂ ವಿತರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ, ವೇಗವಾದ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಕೆ, ಉತ್ತಮ ತಾಪಮಾನ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ತಾಪನ ಅಂಶದ ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

(4) ಇತರೆ: ನಿರೋಧಕ ಭಾಗಗಳನ್ನು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಿದ 95 ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ; ಲೀಡ್-ಇನ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಿದ ತಾಮ್ರದ ನೀರು-ತಂಪಾಗುವ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರವಾಗಿದೆ; ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್ ಟ್ರೇನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ.

ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣದ ಕುಲುಮೆ

3. ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ

ನಿರ್ವಾತ ಘಟಕವು ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ ಆಗಿದ್ದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಬ್ಯಾಫಲ್ ಕವಾಟಗಳು, ಬೆಲ್ಲೋಗಳು, ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಬ್ಲೀಡ್ ಕವಾಟಗಳು, ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ನಿರ್ವಾತ ಕವಾಟವು ನ್ಯೂಮ್ಯಾಟಿಕ್ ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಬ್ಯಾಫಲ್ ಕವಾಟವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಕವಾಟದ ತೆರೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಮುಚ್ಚುವಿಕೆಯನ್ನು PLC ಯಿಂದ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಇಂಟರ್ಲಾಕ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ. ವಿದ್ಯುತ್ ಕಡಿತಗೊಂಡಾಗ, ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣದ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಕವಾಟವು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಮುಚ್ಚುತ್ತದೆ. ನಿರ್ವಾತ ಮಾಪನವು ಡಿಜಿಟಲ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಗೇಜ್ ಮತ್ತು ಮ್ಯಾಚಿಂಗ್ ಗೇಜ್‌ಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಗೇಜ್ ಮಾಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಶ್ರೇಣಿಯ ಪರಿವರ್ತನೆ ಮತ್ತು ಅತಿ-ಪ್ರಯಾಣದ ರಕ್ಷಣೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಡೇಟಾ ಔಟ್‌ಪುಟ್ ಮತ್ತು ದೋಷ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಂತಹ ಬಹು ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

4. ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ

ಹಣದುಬ್ಬರ ಮತ್ತು ಹಣದುಬ್ಬರವಿಳಿತದ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ವಿವಿಧ ಹಣದುಬ್ಬರ ಕವಾಟಗಳನ್ನು (ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ, ಕೈಪಿಡಿ), ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ಪರಿಕರಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ, ಮತ್ತು ಹಣದುಬ್ಬರದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು, ಇದು ವೇಗದ ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಭಾಗಶಃ ಒತ್ತಡದ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ತಾಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣದ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿಯನ್ನು ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಮೂಲಕ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ವಿಶೇಷ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಅಗತ್ಯತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಮತ್ತು ಕೆಲವು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿಯನ್ನು ನಿಗದಿತ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಹೊಂದಿಸಬಹುದು. ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಅತಿಯಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ತೊಂದರೆಗಳು. ಕೆಲವು ಕಡಿಮೆ ಆವಿ ಒತ್ತಡದ ಅಂಶಗಳ ಬಾಷ್ಪೀಕರಣ. ಬಲವಂತದ ಕ್ಷಿಪ್ರ ಕೂಲಿಂಗ್ ಅಗತ್ಯವಿದ್ದಾಗ, ಕುಲುಮೆಯೊಳಗೆ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಅನಿಲವನ್ನು ಅನುಮತಿಸಲು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕವಾಟವನ್ನು ತೆರೆಯಬಹುದು ಮತ್ತು ಬಫರ್ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು.