Deel van lek inspeksie metodes vir vakuum oonde

(1) Na die toets van die drukstygingtempo volgens die drukstygingtempo-toetsmetode, as die vakuum in die oond van die vakuumoond aanhou daal en die vakuum van die pyplyn onveranderd bly, dui dit aan dat daar ‘n lek in die oond van die vakuum oond. Op hierdie tydstip moet ‘n heliummassaspektrometer lekdetektor gebruik word om moontlike lekkasies in die vakuumoond-oond op te spoor, met die fokus op die nagaan van die verwarmingselektrode, die termokoppelmonteergat en die termokoppel self, die gasverbindingsflens en die gasvulklep, die oonddeur, Die verbinding tussen die drukmeter en die druksensor, die verbinding van die vakuummeterbuis, ens., waar daar ‘n koppelvlak met die buitekant is; vir die vakuumoond moet die hitteruiler ook nagegaan word vir lekkasies, gewoonlik is die hitteruiler van die interne sirkulasietoerusting binne die toerusting, dit is moeilik om na te gaan, u kan die metode gebruik om heliumgas in die koppelvlak van die verkoeling in te voer waterpyp van die hitteruiler om die lek te kontroleer.

(2) As die vakuum op die vakuumpyplyn vinnig daal, en die vakuum in die vakuumkamer bly beter of effens verhoog, moet die vakuumpyplyn en vakuumpompstelsel na lek gekontroleer word.

(3) As die vakuumgraad van die vakuumpyplyn en die vakuumkamer afgeneem het, moet die vakuumklep ook nagegaan word.