Oqishni tekshirish usullarini almashish vakuumli pechlar

(1) Bosimning ko’tarilish tezligini tekshirish usuli bo’yicha bosimning ko’tarilish tezligini sinovdan o’tkazgandan so’ng, agar vakuumli pechning pechidagi vakuum tushib qolsa va quvur liniyasining vakuumi o’zgarishsiz qolsa, bu pechda oqish borligini ko’rsatadi. vakuumli pech. Bu vaqtda vakuumli pechda yuzaga kelishi mumkin bo’lgan qochqinlarni aniqlash uchun geliy massa spektrometrining qochqin detektoridan foydalanish kerak, bu esa isitish elektrodini, termojuftni o’rnatish teshigini va termojuftning o’zini, gazni ulash gardishini va gaz to’ldirish klapanini tekshirishga qaratilgan. o’choq eshigi, bosim o’lchagich va bosim sensori o’rtasidagi aloqa, vakuum o’lchagich trubasining ulanishi va boshqalar, bu erda tashqi tomondan interfeys mavjud; vakuumli pech uchun issiqlik almashtirgich ham oqish uchun tekshirilishi kerak, odatda ichki sirkulyatsiya uskunasining issiqlik almashtirgichi uskunaning ichida, tekshirish qiyin, siz geliy gazini sovutish interfeysiga kiritish usulidan foydalanishingiz mumkin. qochqinni tekshirish uchun issiqlik almashtirgichning suv trubkasi.

(2) Agar vakuum quvur liniyasidagi vakuum tezda tushib qolsa va vakuum kamerasidagi vakuum yaxshi bo’lib qolsa yoki biroz ko’tarilgan bo’lsa, vakuum quvur liniyasi va vakuum nasosi tizimi oqish-tekshirish kerak.

(3) Vakuum quvur liniyasi va vakuum kamerasining vakuum darajasi pasaygan bo’lsa, vakuum klapanini ham tekshirish kerak.