Compartir métodos de inspección de fugas para hornos de vacío

(1) Después de probar la tasa de aumento de presión de acuerdo con el método de prueba de tasa de aumento de presión, si el vacío en el horno del horno de vacío sigue cayendo y el vacío de la tubería permanece sin cambios, indica que hay una fuga en el horno de el horno de vacío. En este momento, se debe usar un detector de fugas de espectrómetro de masas de helio para detectar posibles fugas en el horno del horno de vacío, centrándose en verificar el electrodo de calentamiento, el orificio de montaje del termopar y el termopar mismo, la brida de conexión de gas y la válvula de llenado de gas, el puerta del horno, La conexión entre el manómetro y el sensor de presión, la conexión del tubo del manómetro de vacío, etc., donde hay una interfaz con el exterior; para el horno de vacío, el intercambiador de calor también debe revisarse en busca de fugas, generalmente el intercambiador de calor del equipo de circulación interna está dentro del equipo, es difícil de verificar, puede usar el método de introducir gas helio en la interfaz de enfriamiento tubería de agua del intercambiador de calor para verificar la fuga.

(2) Si el vacío en la tubería de vacío cae rápidamente y el vacío en la cámara de vacío sigue siendo mejor o aumenta ligeramente, se debe verificar si hay fugas en la tubería de vacío y el sistema de bomba de vacío.

(3) Si el grado de vacío de la tubería de vacío y la cámara de vacío ha disminuido, también se debe revisar la válvula de vacío.