שיתוף שיטות בדיקת נזילות עבור תנורי ואקום

(1) לאחר בדיקת קצב עליית הלחץ על פי שיטת בדיקת קצב עליית הלחץ, אם הוואקום בתנור של תנור הוואקום ממשיך לרדת והוואקום של הצינור נשאר ללא שינוי, זה מצביע על כך שיש דליפה בתנור של תנור הוואקום. בשלב זה, יש להשתמש בגלאי דליפות ספקטרומטר מסה הליום כדי לזהות דליפות אפשריות בתנור הוואקום, תוך התמקדות בבדיקת אלקטרודת החימום, חור ההרכבה של הצמד התרמי והצמד התרמי עצמו, אוגן חיבור הגז ושסתום מילוי הגז, דלת תנור, החיבור בין מד הלחץ לחיישן הלחץ, חיבור צינור מד הוואקום וכו’, כאשר ישנו ממשק עם החוץ; עבור תנור הוואקום, יש לבדוק גם את מחליף החום לאיתור דליפות, בדרך כלל מחליף החום של ציוד המחזור הפנימי נמצא בתוך הציוד, קשה לבדוק, ניתן להשתמש בשיטה של ​​החדרת גז הליום לממשק הקירור צינור המים של מחליף החום כדי לבדוק את הדליפה.

(2) אם הוואקום על צינור הוואקום יורד במהירות, והוואקום בתא הוואקום נשאר טוב יותר או מוגבר מעט, יש לבדוק את צינור הוואקום ומערכת משאבת הוואקום.

(3) אם מידת הוואקום של צינור הוואקום ושל תא הוואקום ירדה, יש לבדוק גם את שסתום הוואקום.