Szivárgásvizsgálati módszerek megosztása a vákuumkemencék

(1) Ha a nyomásnövekedési sebességnek a nyomásemelkedési sebesség vizsgálati módszerrel történő vizsgálatát követően a vákuumkemencében a vákuum folyamatosan csökken, és a csővezeték vákuumja változatlan marad, az azt jelzi, hogy a kemencében szivárgás van. a vákuum kemence. Ekkor egy hélium tömegspektrométeres szivárgásérzékelőt kell használni a vákuumkemencében esetlegesen előforduló szivárgások észlelésére, különös tekintettel a fűtőelektróda, a hőelem rögzítési furatának és magának a hőelemnek az ellenőrzésére, a gázcsatlakozó karimára és a gáztöltő szelepre, a kemenceajtó, A nyomásmérő és a nyomásérzékelő kapcsolata, a vákuummérő cső csatlakozása stb., ahol interfész van a külsővel; a vákuumkemencéhez a hőcserélőt is ellenőrizni kell, hogy nincs-e szivárgás, általában a belső keringtető berendezés hőcserélője a berendezésen belül van, nehéz ellenőrizni, használhatja a hélium gáz bevezetésének módszerét a hűtés interfészébe a hőcserélő vízvezetékét a szivárgás ellenőrzéséhez.

(2) Ha a vákuum a vákuumcsővezetéken gyorsan csökken, és a vákuumkamrában a vákuum jobb marad vagy kissé megnövekszik, a vákuumcsővezetéket és a vákuumszivattyú rendszert szivárgásmentesen ellenőrizni kell.

(3) Ha a vákuumcsővezeték és a vákuumkamra vákuumfoka csökken, a vákuumszelepet is ellenőrizni kell.