Нэвчилтийг шалгах аргуудыг хуваалцах вакуум зуухнууд

(1) Даралтын өсөлтийн хурдыг турших аргын дагуу даралтын өсөлтийн хурдыг туршсаны дараа вакуум зуухны зуухны вакуум буурч, дамжуулах хоолойн вакуум өөрчлөгдөөгүй хэвээр байвал энэ нь зууханд гоожиж байгааг илтгэнэ. вакуум зуух. Энэ үед халаалтын электрод, термопар суурилуулах нүх ба термопар өөрөө, хийн холболтын фланц, хий дүүргэх хавхлага, хийн дүүргэгч хавхлагыг шалгахад анхаарлаа хандуулж, вакуум зууханд гарч болзошгүй гоожсоныг илрүүлэхийн тулд гелийн массын спектрометрийн алдагдлыг илрүүлэгч ашиглах шаардлагатай. зуухны хаалга, Даралт хэмжигч ба даралт мэдрэгчийн хоорондох холболт, вакуум хэмжигч хоолойн холболт гэх мэт гадна талтай интерфэйс байдаг; вакуум зуухны хувьд дулаан солилцогчийг гоожиж байгаа эсэхийг шалгах хэрэгтэй, ихэвчлэн дотоод эргэлтийн төхөөрөмжийн дулаан солилцуур нь төхөөрөмжийн дотор байдаг, шалгахад хэцүү байдаг тул та хөргөлтийн интерфэйс рүү гелий хий нэвтрүүлэх аргыг ашиглаж болно. алдагдлыг шалгах дулаан солилцуурын ус дамжуулах хоолой.

(2) Хэрэв вакуум дамжуулах хоолой дээрх вакуум хурдан буурч, вакуум камер дахь вакуум илүү сайн хэвээр эсвэл бага зэрэг нэмэгдсэн бол вакуум дамжуулах хоолой болон вакуум насосны системийн алдагдлыг шалгах шаардлагатай.

(3) Хэрэв вакуум дамжуулах хоолой ба вакуум камерын вакуум түвшин буурч байвал вакуум хавхлагыг мөн шалгах хэрэгтэй.