Deling av lekkasjeinspeksjonsmetoder for vakuumovner

(1) Etter å ha testet trykkstigningshastigheten i henhold til testmetoden for trykkstigningshastighet, hvis vakuumet i ovnen til vakuumovnen fortsetter å synke og vakuumet i rørledningen forblir uendret, indikerer det at det er en lekkasje i ovnen til vakuumovnen. På dette tidspunktet bør en heliummassespektrometer-lekkasjedetektor brukes for å oppdage mulige lekkasjer i vakuumovnsovnen, med fokus på å kontrollere varmeelektroden, termoelementets monteringshull og selve termoelementet, gasstilkoblingsflensen og gasspåfyllingsventilen, ovnsdør, Forbindelsen mellom trykkmåleren og trykksensoren, koblingen av vakuummålerrøret, etc., der det er et grensesnitt med utsiden; for vakuumovnen bør varmeveksleren også sjekkes for lekkasjer, vanligvis er varmeveksleren til det interne sirkulasjonsutstyret inne i utstyret, det er vanskelig å sjekke, du kan bruke metoden for å introdusere heliumgass i grensesnittet til kjølingen vannrøret til varmeveksleren for å sjekke lekkasjen.

(2) Hvis vakuumet på vakuumrørledningen faller raskt, og vakuumet i vakuumkammeret forblir bedre eller litt økt, bør vakuumrørledningen og vakuumpumpesystemet lekkasjesjekkes.

(3) Hvis vakuumgraden til vakuumrørledningen og vakuumkammeret har synket, bør vakuumventilen også kontrolleres.