漏れ検査方法の共有 真空炉

（1）圧力上昇率試験方法により圧力上昇率を試験した後、真空炉の炉内の真空が低下し続け、パイプラインの真空が変化しない場合は、真空炉。 このとき、ヘリウム質量分析計のリークディテクタを使用して、真空炉炉内のリークの可能性を検出し、加熱電極、熱電対の取り付け穴と熱電対自体、ガス接続フランジとガス充填バルブ、炉の扉、圧力計と圧力センサーの接続、真空計管の接続など、外部とのインターフェースがあります。 真空炉の場合、熱交換器にも漏れがないか確認する必要があります。通常、内部循環装置の熱交換器は装置内にあります。確認が難しいため、冷却のインターフェースにヘリウムガスを導入する方法を使用できます。漏れをチェックするための熱交換器の水道管。

（2）真空パイプラインの真空が急速に低下し、真空チャンバー内の真空が良好またはわずかに増加したままである場合は、真空パイプラインと真空ポンプシステムのリークチェックを行う必要があります。

（3）真空パイプラインと真空チャンバーの真空度が低下している場合は、真空バルブもチェックする必要があります。