Üçün sızma yoxlama üsullarının paylaşılması vakuum sobaları

(1) Təzyiq artım sürətinin sınaq üsuluna uyğun olaraq təzyiq artım sürətini sınaqdan keçirdikdən sonra, vakuum sobasının sobasındakı vakuum düşməyə davam edərsə və boru kəmərinin vakuumu dəyişməz qalırsa, bu, sobada sızma olduğunu göstərir. vakuum sobası. Bu zaman vakuum sobasının sobasında mümkün sızmaların aşkar edilməsi üçün bir helium kütlə spektrometrinin sızma detektorundan istifadə edilməlidir, əsas diqqət istilik elektrodunun, termocüt montaj dəliyinin və termocütün özünün, qaz birləşdirici flanşın və qaz doldurma klapanının yoxlanılmasına yönəldilməlidir. sobanın qapısı, təzyiqölçən ilə təzyiq sensoru arasındakı əlaqə, xariclə bir interfeys olduğu yerdə vakuum ölçmə borusunun əlaqəsi və s.; vakuum sobası üçün istilik dəyişdiricisi də sızma üçün yoxlanılmalıdır, adətən daxili dövriyyə avadanlığının istilik dəyişdiricisi avadanlığın içərisindədir, Yoxlamaq çətindir, soyutma interfeysinə helium qazını daxil etmək üsulundan istifadə edə bilərsiniz. sızıntını yoxlamaq üçün istilik dəyişdiricisinin su borusu.

(2) Vakuum boru kəmərindəki vakuum sürətlə aşağı düşərsə və vakuum kamerasındakı vakuum daha yaxşı və ya bir qədər artarsa, vakuum boru kəməri və vakuum nasos sistemi sızma yoxlanılmalıdır.

(3) Vakuum boru kəmərinin və vakuum kamerasının vakuum dərəcəsi azalırsa, vakuum klapan da yoxlanılmalıdır.