Udostępnianie metod kontroli szczelności dla piece próżniowe

(1) Po przetestowaniu szybkości wzrostu ciśnienia zgodnie z metodą badania szybkości wzrostu ciśnienia, jeśli próżnia w piecu pieca próżniowego nadal spada, a próżnia rurociągu pozostaje niezmieniona, oznacza to, że w piecu występuje nieszczelność piec próżniowy. W tym czasie należy zastosować wykrywacz nieszczelności helowego spektrometru mas w celu wykrycia ewentualnych nieszczelności w piecu próżniowym, skupiając się na sprawdzeniu elektrody grzejnej, otworu montażowego termopary oraz samej termopary, kołnierza przyłącza gazu i zaworu napełniania gazem, drzwi pieca, połączenie między manometrem a czujnikiem ciśnienia, połączenie rurki wakuometru itp., gdzie jest połączenie z otoczeniem; w przypadku pieca próżniowego należy również sprawdzić wymiennik ciepła pod kątem szczelności, zwykle wymiennik ciepła urządzeń z obiegiem wewnętrznym znajduje się wewnątrz urządzenia, Trudno to sprawdzić, można zastosować metodę wprowadzania helu gazowego do interfejsu chłodzenia rura wodna wymiennika ciepła, aby sprawdzić szczelność.

(2) Jeżeli próżnia w rurociągu próżniowym szybko spada, a próżnia w komorze próżniowej pozostaje lepsza lub nieznacznie zwiększona, należy sprawdzić szczelność rurociągu próżniowego i układu pompy próżniowej.

(3) Jeżeli stopień podciśnienia rurociągu próżniowego i komory próżniowej zmniejsza się, należy również sprawdzić zawór próżniowy.