Teilen von Lecksuchmethoden für Vakuumöfen

(1) Wenn nach dem Testen der Druckanstiegsrate gemäß dem Druckanstiegsraten-Testverfahren das Vakuum im Ofen des Vakuumofens weiter abfällt und das Vakuum der Rohrleitung unverändert bleibt, weist dies darauf hin, dass im Ofen ein Leck vorhanden ist der Vakuumofen. Zu diesem Zeitpunkt sollte ein Helium-Massenspektrometer-Lecksucher verwendet werden, um mögliche Lecks im Vakuumofenofen zu erkennen, wobei der Schwerpunkt auf der Überprüfung der Heizelektrode, der Thermoelement-Befestigungsbohrung und des Thermoelements selbst, des Gasanschlussflansches und des Gasfüllventils liegt Ofentür, die Verbindung zwischen dem Manometer und dem Drucksensor, die Verbindung des Vakuummeterrohrs usw., wo es eine Schnittstelle nach außen gibt; Für den Vakuumofen sollte auch der Wärmetauscher auf Undichtigkeiten überprüft werden, normalerweise befindet sich der Wärmetauscher der internen Zirkulationsausrüstung im Inneren der Ausrüstung. Es ist schwierig zu überprüfen, Sie können die Methode verwenden, Heliumgas in die Schnittstelle der Kühlung einzuführen Wasserleitung des Wärmetauschers, um die Leckage zu prüfen.

(2) Wenn das Vakuum an der Vakuumleitung schnell abfällt und das Vakuum in der Vakuumkammer besser oder leicht erhöht bleibt, sollten die Vakuumleitung und das Vakuumpumpensystem auf Lecks überprüft werden.

(3) Wenn der Vakuumgrad der Vakuumleitung und der Vakuumkammer abgenommen hat, sollte auch das Vakuumventil überprüft werden.