Vuodontarkastusmenetelmien jakaminen tyhjiöuunit

(1) Paineen nousunopeuden testauksen jälkeen paineen nousunopeuden testausmenetelmällä, jos tyhjiö uunin uunissa laskee jatkuvasti ja putkilinjan tyhjiö pysyy muuttumattomana, se osoittaa, että uunissa on vuoto. tyhjiöuuni. Tässä vaiheessa tulisi käyttää heliummassaspektrometrin vuodonilmaisinta mahdollisten vuotojen havaitsemiseen tyhjiöuunissa, keskittyen lämmityselektrodin, termoparin kiinnitysreiän ja itse termoparin, kaasuliitäntälaipan ja kaasun täyttöventtiilin, uunin ovi, Painemittarin ja paineanturin välinen liitäntä, alipainemittarin putken liitäntä jne., jossa on liitäntä ulkopuolen kanssa; tyhjiöuunissa lämmönvaihdin tulee myös tarkistaa vuotojen varalta, yleensä sisäisen kiertolaitteen lämmönvaihdin on laitteen sisällä, sitä on vaikea tarkistaa, voit käyttää menetelmää heliumkaasun tuomiseksi jäähdytyksen rajapintaan lämmönvaihtimen vesiputki vuodon tarkistamiseksi.

(2) Jos tyhjiö putkilinjassa laskee nopeasti ja tyhjiö tyhjiökammiossa pysyy parempana tai hieman kasvaneena, tyhjiöputkisto ja tyhjiöpumppujärjestelmä tulee tarkistaa.

(3) Jos tyhjiöputken ja alipainekammion alipaineaste on laskenut, tulee myös tyhjiöventtiili tarkistaa.