Deling af metoder til lækageinspektion vedr vakuumovne

(1) Efter test af trykstigningshastigheden i henhold til trykstigningshastighedstestmetoden, hvis vakuumet i vakuumovnens ovn bliver ved med at falde, og rørledningens vakuum forbliver uændret, indikerer det, at der er en lækage i ovnen af vakuumovnen. På dette tidspunkt bør en helium massespektrometer lækagedetektor bruges til at detektere mulige utætheder i vakuumovnens ovn med fokus på at kontrollere varmeelektroden, termoelementets monteringshul og selve termoelementet, gasforbindelsesflangen og gaspåfyldningsventilen, ovndør, Forbindelsen mellem trykmåleren og trykføleren, forbindelsen af ​​vakuummålerrøret osv., hvor der er en grænseflade med ydersiden; for vakuumovnen skal varmeveksleren også kontrolleres for lækager, normalt er varmeveksleren for det interne cirkulationsudstyr inde i udstyret, det er svært at kontrollere, du kan bruge metoden til at indføre heliumgas i kølegrænsefladen varmevekslerens vandrør for at kontrollere lækagen.

(2) Hvis vakuumet på vakuumrørledningen falder hurtigt, og vakuumet i vakuumkammeret forbliver bedre eller let øget, bør vakuumrørledningen og vakuumpumpesystemet lækagetjekkes.

(3) Hvis vakuum-graden af ​​vakuumrørledningen og vakuumkammeret har været faldende, bør vakuumventilen også kontrolleres.