Perkongsian kaedah pemeriksaan kebocoran untuk relau vakum

(1) Selepas menguji kadar kenaikan tekanan mengikut kaedah ujian kadar kenaikan tekanan, jika vakum dalam relau relau vakum terus jatuh dan vakum saluran paip kekal tidak berubah, ia menunjukkan bahawa terdapat kebocoran dalam relau relau vakum. Pada masa ini, pengesan kebocoran spektrometer jisim helium harus digunakan untuk mengesan kemungkinan kebocoran dalam relau vakum, memfokuskan pada memeriksa elektrod pemanasan, lubang pelekap termokopel dan termokopel itu sendiri, bebibir sambungan gas dan injap pengisian gas, pintu relau, Sambungan antara tolok tekanan dan sensor tekanan, sambungan tiub tolok vakum, dsb., di mana terdapat antara muka dengan bahagian luar; untuk relau vakum, penukar haba juga perlu diperiksa untuk kebocoran, biasanya penukar haba peralatan peredaran dalaman berada di dalam peralatan, Sukar untuk diperiksa, anda boleh menggunakan kaedah memasukkan gas helium ke dalam antara muka penyejukan paip air penukar haba untuk memeriksa kebocoran.

(2) Jika vakum pada saluran paip vakum jatuh dengan cepat, dan vakum dalam ruang vakum kekal lebih baik atau sedikit meningkat, saluran paip vakum dan sistem pam vakum harus diperiksa kebocoran.

(3) Jika tahap vakum saluran paip vakum dan ruang vakum telah berkurangan, injap vakum juga perlu diperiksa.