إدخال نظام الفراغ فرن تلبيد الفراغ

تحتوي أنظمة التفريغ عمومًا على مجموعة متنوعة من التركيبات. الاختيار يعتمد على الفراغ المطلوب أثناء العمل. أنظمة التفريغ الشائعة هي كما يلي:

(1) نظام فراغ منخفض: مجهز بمضخة ميكانيكية (مضخة دوارة أو مضخة صمام منزلق) ، يمكن أن يصل الفراغ النهائي إلى حوالي 10 باسكال ؛

(2) نظام تفريغ متوسط: إنه مجهز بمجموعة من مضخة الجذور والمضخة الميكانيكية (مضخة دوارة دوارة أو مضخة صمام منزلق) ، ويمكن أن يصل الفراغ النهائي إلى 2 × 10-1 باسكال ؛

(3) نظام تفريغ عالي: تم تكوينه بشكل عام كمضخة نشر + مضخة جذور + مضخة ميكانيكية (مضخة دوارة دوارة أو مضخة صمام منزلق) ، يمكن أن يصل الفراغ النهائي إلى 2 × 10-3 باسكال ؛

(4) نظام فراغ فائق الارتفاع: مضخة جزيئية توربينية + مضخة جذور + مضخة ميكانيكية (مضخة دوارة دوارة أو مضخة صمام منزلق) ، يمكن أن تصل درجة الفراغ القصوى إلى 2 × 10-4 باسكال.