진공시스템 도입 진공 소결로

진공 시스템에는 일반적으로 다양한 조합이 있습니다. 선택은 작업 중 필요한 진공을 기준으로 합니다. 일반적인 진공 시스템은 다음과 같습니다.

(1) 저진공 시스템: 기계식 펌프(회전 날개 펌프 또는 슬라이드 밸브 펌프)가 장착되어 있으며 궁극적인 진공은 약 10Pa에 도달할 수 있습니다.

(2) 중진공 시스템: 루츠 펌프와 기계식 펌프(회전 날개 펌프 또는 슬라이드 밸브 펌프)의 조합이 장착되어 있으며 궁극적인 진공은 2×10-1 Pa에 도달할 수 있습니다.

(3) 고진공 시스템: 일반적으로 확산 펌프 + 루츠 펌프 + 기계식 펌프(회전 날개 펌프 또는 슬라이드 밸브 펌프)로 구성되며, 궁극적인 진공은 2×10-3 Pa에 도달할 수 있습니다.

(4) 초고진공 시스템: 터보 분자 펌프 + 루츠 펌프 + 기계식 펌프(회전 날개 펌프 또는 슬라이드 밸브 펌프), 궁극적인 진공도는 2×10-4 Pa에 도달할 수 있습니다.