การแนะนำระบบสูญญากาศของ เตาเผาสุญญากาศ

ระบบสุญญากาศโดยทั่วไปมีการผสมผสานที่หลากหลาย การเลือกจะขึ้นอยู่กับสูญญากาศที่จำเป็นระหว่างการทำงาน ระบบสูญญากาศทั่วไปมีดังนี้:

(1) ระบบสูญญากาศต่ำ: ติดตั้งปั๊มกล (ปั๊มใบพัดหมุนหรือปั๊มวาล์วสไลด์) สูญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึงได้ประมาณ 10 Pa;

(2) ระบบสูญญากาศขนาดกลาง: มาพร้อมกับปั๊ม Roots และปั๊มเชิงกล (ปั๊มใบพัดหมุนหรือปั๊มวาล์วแบบสไลด์) และสูญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึง 2 × 10-1 Pa;

(3) ระบบสุญญากาศสูง: โดยทั่วไปกำหนดค่าเป็นปั๊มกระจาย + ปั๊มรูต + ปั๊มเชิงกล (ปั๊มใบพัดหมุนหรือปั๊มวาล์วแบบสไลด์) สูญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึง 2 × 10-3 Pa;

(4) ระบบสูญญากาศสูงพิเศษ: ปั๊ม turbomolecular + ปั๊มรูต + ปั๊มเชิงกล (ปั๊มใบพัดหมุนหรือปั๊มวาล์วแบบสไลด์) ระดับสูญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึงได้ 2 × 10-4 Pa