真空系統介紹 真空燒結爐

真空系統一般有多種組合。 選擇基於工作時所需的真空度。 常見的真空系統如下：

(1)低真空系統：配備機械泵（旋片泵或滑閥泵），極限真空可達10Pa左右；

(2)中真空系統：配備羅茨泵和機械泵（旋片泵或滑閥泵）組合，極限真空可達2×10-1Pa；

(3)高真空系統：一般配置為擴散泵+羅茨泵+機械泵（旋片泵或滑閥泵），極限真空可達2×10-3Pa；

(4)超高真空系統：渦輪分子泵+羅茨泵+機械泵（旋片泵或滑閥泵），極限真空度可達2×10-4 Pa。