Pengenalan Sistem Vakum dari Tungku Sintering Vakum

Sistem vakum umumnya memiliki berbagai kombinasi. Pemilihan didasarkan pada vakum yang dibutuhkan selama bekerja. Sistem vakum umum adalah sebagai berikut:

(1) Sistem vakum rendah: dilengkapi dengan pompa mekanis (pompa baling-baling putar atau pompa katup geser), vakum pamungkas dapat mencapai sekitar 10 Pa;

(2) Sistem vakum sedang: Dilengkapi dengan kombinasi pompa Roots dan pompa mekanis (pompa baling-baling putar atau pompa katup geser), dan vakum pamungkas dapat mencapai 2 × 10-1 Pa;

(3) Sistem vakum tinggi: Umumnya dikonfigurasi sebagai pompa difusi + pompa Roots + pompa mekanis (pompa baling-baling putar atau pompa katup geser), vakum pamungkas dapat mencapai 2 × 10-3 Pa;

(4) Sistem vakum ultra-tinggi: pompa turbomolekuler + Pompa akar + pompa mekanis (pompa baling-baling putar atau pompa katup geser), tingkat vakum tertinggi dapat mencapai 2 × 10-4 Pa.