വാക്വം സിസ്റ്റത്തിന്റെ ആമുഖം വാക്വം സിന്ററിംഗ് ഫർണസ്

വാക്വം സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് സാധാരണയായി പലതരം കോമ്പിനേഷനുകൾ ഉണ്ട്. ജോലി സമയത്ത് ആവശ്യമായ വാക്വം അടിസ്ഥാനമാക്കിയാണ് തിരഞ്ഞെടുപ്പ്. സാധാരണ വാക്വം സിസ്റ്റങ്ങൾ ഇനിപ്പറയുന്നവയാണ്:

(1) ലോ വാക്വം സിസ്റ്റം: മെക്കാനിക്കൽ പമ്പ് (റോട്ടറി വെയ്ൻ പമ്പ് അല്ലെങ്കിൽ സ്ലൈഡ് വാൽവ് പമ്പ്) കൊണ്ട് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു, ആത്യന്തിക വാക്വം ഏകദേശം 10 Pa വരെ എത്താം;

(2) മീഡിയം വാക്വം സിസ്റ്റം: ഇത് റൂട്ട്സ് പമ്പും മെക്കാനിക്കൽ പമ്പും (റോട്ടറി വെയ്ൻ പമ്പ് അല്ലെങ്കിൽ സ്ലൈഡ് വാൽവ് പമ്പ്) സംയോജിപ്പിച്ച് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ ആത്യന്തിക വാക്വം 2×10-1 Pa വരെ എത്താം;

(3) ഉയർന്ന വാക്വം സിസ്റ്റം: സാധാരണയായി ഡിഫ്യൂഷൻ പമ്പ് + റൂട്ട് പമ്പ് + മെക്കാനിക്കൽ പമ്പ് (റോട്ടറി വെയ്ൻ പമ്പ് അല്ലെങ്കിൽ സ്ലൈഡ് വാൽവ് പമ്പ്) ആയി ക്രമീകരിച്ചിരിക്കുന്നു, ആത്യന്തിക വാക്വം 2×10-3 Pa വരെ എത്താം;

(4) അൾട്രാ-ഹൈ വാക്വം സിസ്റ്റം: ടർബോമോളികുലാർ പമ്പ് + റൂട്ട്സ് പമ്പ് + മെക്കാനിക്കൽ പമ്പ് (റോട്ടറി വെയ്ൻ പമ്പ് അല്ലെങ്കിൽ സ്ലൈഡ് വാൽവ് പമ്പ്), ആത്യന്തിക വാക്വം ഡിഗ്രി 2×10-4 Pa വരെ എത്താം.