Vakuum tizimini joriy etish Vakuumli sinterlash pechi

Vakuum tizimlari odatda turli xil kombinatsiyalarga ega. Tanlov ish paytida zarur bo’lgan vakuumga asoslanadi. Umumiy vakuum tizimlari quyidagilardir:

(1) Past vakuum tizimi: mexanik nasos bilan jihozlangan (aylanuvchi qanotli nasos yoki slaydni vana pompasi), yakuniy vakuum taxminan 10 Pa ga yetishi mumkin;

(2) O’rta vakuum tizimi: U Roots nasosi va mexanik nasos (aylanuvchi qanotli nasos yoki slayd vana pompasi) kombinatsiyasi bilan jihozlangan va yakuniy vakuum 2 × 10-1 Pa ga yetishi mumkin;

(3) Yuqori vakuum tizimi: Odatda diffuziya pompasi + Roots nasosi + mexanik nasos (aylanuvchi qanotli nasos yoki slaydni vana pompasi) sifatida tuzilgan, yakuniy vakuum 2 × 10-3 Pa ga yetishi mumkin;

(4) Ultra yuqori vakuum tizimi: turbomolekulyar nasos + Roots nasosi + mexanik nasos (aylanuvchi qanotli nasos yoki slayd vana pompasi), yakuniy vakuum darajasi 2 × 10-4 Pa ga yetishi mumkin.