රික්ත පද්ධතිය හඳුන්වාදීම වැකුම් සින්ටර් උදුන

රික්ත පද්ධති සාමාන්‍යයෙන් විවිධ සංයෝජන ඇත. වැඩ කිරීමේදී අවශ්ය වන රික්තය මත තෝරාගැනීම පදනම් වේ. පොදු රික්ත පද්ධති පහත පරිදි වේ:

(1) අඩු රික්ත පද්ධතිය: යාන්ත්‍රික පොම්පයකින් (භ්‍රමණ වෑන් පොම්පය හෝ ස්ලයිඩ කපාට පොම්පය) සමන්විත, අවසාන රික්තය 10 Pa දක්වා ළඟා විය හැක;

(2) මධ්‍යම රික්ත පද්ධතිය: එය Roots පොම්පය සහ යාන්ත්‍රික පොම්ප (භ්‍රමණ වෑන් පොම්ප හෝ ස්ලයිඩ් කපාට පොම්පය) සංයෝගයකින් සමන්විත වන අතර, අවසාන රික්තය 2×10-1 Pa දක්වා ළඟා විය හැක;

(3) අධි රික්ත පද්ධතිය: සාමාන්‍යයෙන් විසරණ පොම්පය + මුල් පොම්පය + යාන්ත්‍රික පොම්පය (භ්‍රමණ වෑන් පොම්පය හෝ ස්ලයිඩ් කපාට පොම්පය) ලෙස වින්‍යාස කර ඇති අතර, අවසාන රික්තය 2×10-3 Pa දක්වා ළඟා විය හැක;

(4) Ultra-high රික්තක පද්ධතිය: turbomolecular පොම්පය + Roots පොම්පය + යාන්ත්රික පොම්පය (rotary vane pump හෝ slide valve pump), අවසාන රික්තක උපාධිය 2×10-4 Pa දක්වා ළඟා විය හැක.