Ўкараненне вакуумнай сістэмы Печ вакуумнай апякання

Вакуумныя сістэмы звычайна маюць мноства камбінацый. Выбар заснаваны на вакууме, неабходным падчас працы. Распаўсюджаныя вакуумныя сістэмы наступныя:

(1) Сістэма нізкага вакууму: абсталяваны механічным помпай (ротацыйны помпа або помпа з шпонкай), максімальны вакуум можа дасягаць каля 10 Па;

(2) Сярэдняя вакуумная сістэма: яна абсталявана камбінацыяй помпы Roots і механічнага помпы (ротацыйны помпа або помпа з засланкай), і максімальны вакуум можа дасягаць 2 × 10-1 Па;

(3) Сістэма высокага вакууму: звычайна настроены як дыфузійны помпа + Рутс помпа + механічны помпа (ротацыйны помпа або помпа з засланкай), максімальны вакуум можа дасягаць 2×10-3 Па;

(4) Сістэма звышвысокага вакууму: турбамалекулярны помпа + Рутс помпа + механічны помпа (ротацыйны помпа або помпа з клапанам), максімальная ступень вакууму можа дасягаць 2 × 10-4 Па.