Tyhjiöjärjestelmän esittely Tyhjiö sintrausuuni

Tyhjiöjärjestelmissä on yleensä erilaisia ​​yhdistelmiä. Valinta perustuu työn aikana tarvittavaan tyhjiöön. Yleiset tyhjiöjärjestelmät ovat seuraavat:

(1) Alhainen tyhjiöjärjestelmä: varustettu mekaanisella pumpulla (pyörivä siipipumppu tai liukuventtiilipumppu), lopullinen tyhjiö voi saavuttaa noin 10 Pa;

(2) Keskityhjiöjärjestelmä: Se on varustettu Roots-pumpun ja mekaanisen pumpun yhdistelmällä (pyörivä siipipumppu tai liukuventtiilipumppu), ja lopullinen tyhjiö voi saavuttaa 2 × 10-1 Pa;

(3) Korkea tyhjiöjärjestelmä: Yleensä konfiguroitu diffuusiopumpuksi + Roots-pumppu + mekaaninen pumppu (pyörivä siipipumppu tai liukuventtiilipumppu), lopullinen tyhjiö voi saavuttaa 2 × 10-3 Pa;

(4) Erittäin korkea tyhjiöjärjestelmä: turbomolekyylipumppu + Roots-pumppu + mekaaninen pumppu (pyörivä siipipumppu tai liukuventtiilipumppu), lopullinen tyhjiöaste voi olla 2 × 10-4 Pa.