Pengenalan Sistem Vakum bagi Relau Pensinteran Vakum

Sistem vakum umumnya mempunyai pelbagai kombinasi. Pemilihan adalah berdasarkan vakum yang diperlukan semasa bekerja. Sistem vakum biasa adalah seperti berikut:

(1) Sistem vakum rendah: dilengkapi dengan pam mekanikal (pam ram berputar atau pam injap slaid), vakum muktamad boleh mencapai kira-kira 10 Pa;

(2) Sistem vakum sederhana: Ia dilengkapi dengan gabungan pam Akar dan pam mekanikal (pam ram berputar atau pam injap slaid), dan vakum muktamad boleh mencapai 2×10-1 Pa;

(3) Sistem vakum tinggi: Secara umumnya dikonfigurasikan sebagai pam resapan + Pam akar + pam mekanikal (pam ram berputar atau pam injap slaid), vakum muktamad boleh mencapai 2×10-3 Pa;

(4) Sistem vakum ultra tinggi: pam turbomolekul + Pam akar + pam mekanikal (pam ram berputar atau pam injap slaid), tahap vakum muktamad boleh mencapai 2 × 10-4 Pa.