Zavedení vakuového systému Vakuová slinovací pec

Vakuové systémy mají obecně různé kombinace. Výběr je založen na vakuu požadovaném během práce. Běžné vakuové systémy jsou následující:

(1) Systém nízkého vakua: vybavený mechanickým čerpadlem (rotační lopatkové čerpadlo nebo čerpadlo s posuvným ventilem), maximální vakuum může dosáhnout asi 10 Pa;

(2) Systém středního vakua: Je vybaven kombinací Rootsova čerpadla a mechanického čerpadla (rotační lopatkové čerpadlo nebo čerpadlo s posuvným ventilem) a maximální vakuum může dosáhnout 2 × 10-1 Pa;

(3) Systém vysokého vakua: Obecně konfigurován jako difúzní čerpadlo + Rootsovo čerpadlo + mechanické čerpadlo (rotační lopatkové čerpadlo nebo čerpadlo s posuvným ventilem), maximální vakuum může dosáhnout 2 × 10-3 Pa;

(4) Systém ultravysokého vakua: turbomolekulární čerpadlo + Rootsovo čerpadlo + mechanické čerpadlo (rotační lopatkové čerpadlo nebo čerpadlo s posuvným ventilem), maximální stupeň vakua může dosáhnout 2 × 10-4 Pa.