Zavedenie vákuového systému Vákuová spekacia pec

Vákuové systémy majú vo všeobecnosti rôzne kombinácie. Výber je založený na vákuu potrebnom počas práce. Bežné vákuové systémy sú nasledovné:

(1) Systém s nízkym vákuom: vybavený mechanickým čerpadlom (rotačné lopatkové čerpadlo alebo čerpadlo s posuvným ventilom), konečné vákuum môže dosiahnuť približne 10 Pa;

(2) Systém stredného vákua: Je vybavený kombináciou Rootsovej pumpy a mechanického čerpadla (rotačné lopatkové čerpadlo alebo čerpadlo s posuvným ventilom) a konečné vákuum môže dosiahnuť 2 × 10-1 Pa;

(3) Systém vysokého vákua: Všeobecne konfigurovaný ako difúzne čerpadlo + Rootsovo čerpadlo + mechanické čerpadlo (rotačné lopatkové čerpadlo alebo čerpadlo s posuvným ventilom), konečné vákuum môže dosiahnuť 2 × 10-3 Pa;

(4) Systém s ultravysokým vákuom: turbomolekulárne čerpadlo + Rootsovo čerpadlo + mechanické čerpadlo (rotačné lopatkové čerpadlo alebo čerpadlo s posuvným ventilom), maximálny stupeň vákua môže dosiahnuť 2 × 10-4 Pa.