Вакуумдық жүйені енгізу Вакуумдық синтерлеу пеші

Вакуумдық жүйелерде әдетте әртүрлі комбинациялар бар. Таңдау жұмыс кезінде қажетті вакуумға негізделген. Жалпы вакуумдық жүйелер келесідей:

(1) Төмен вакуум жүйесі: механикалық сорғымен жабдықталған (айналмалы қалақшалы сорғы немесе сырғымалы клапан сорғы), соңғы вакуум шамамен 10 Па жетуі мүмкін;

(2) Орташа вакуум жүйесі: ол Roots сорғысының және механикалық сорғының (айналмалы қалақшалы сорғы немесе сырғымалы клапан сорғысы) тіркесімімен жабдықталған және соңғы вакуум 2 × 10-1 Па жетуі мүмкін;

(3) Жоғары вакуум жүйесі: әдетте диффузиялық сорғы + Roots сорғы + механикалық сорғы (айналмалы қалақшалы сорғы немесе сырғымалы клапан сорғы) ретінде конфигурацияланған, соңғы вакуум 2 × 10-3 Па жетуі мүмкін;

(4) Ультра жоғары вакуумдық жүйе: турбомолекулярлық сорғы + Roots сорғы + механикалық сорғы (айналмалы қалақшалы сорғы немесе сырғымалы клапан сорғысы), соңғы вакуум дәрежесі 2 × 10-4 Па жетуі мүмкін.