Einführung des Vakuumsystems von Vakuumsinterofen

Vakuumsysteme haben im Allgemeinen eine Vielzahl von Kombinationen. Die Auswahl richtet sich nach dem während der Arbeit benötigten Vakuum. Gängige Vakuumsysteme sind wie folgt:

(1) Niedervakuumsystem: ausgestattet mit mechanischer Pumpe (Drehschieberpumpe oder Schieberpumpe), das Endvakuum kann etwa 10 Pa erreichen;

(2) Mittleres Vakuumsystem: Es ist mit einer Kombination aus Rootspumpe und mechanischer Pumpe (Drehschieberpumpe oder Schieberpumpe) ausgestattet und das Endvakuum kann 2 × 10-1 Pa erreichen;

(3) Hochvakuumsystem: Im Allgemeinen als Diffusionspumpe + Rootspumpe + mechanische Pumpe (Drehschieberpumpe oder Schieberpumpe) konfiguriert, kann das Endvakuum 2 × 10-3 Pa erreichen;

(4) Ultrahochvakuumsystem: Turbomolekularpumpe + Rootspumpe + mechanische Pumpe (Drehschieberpumpe oder Schieberpumpe), der Endvakuumgrad kann 2 × 10-4 Pa erreichen.