の真空システムの紹介 真空焼結炉

真空システムには通常、さまざまな組み合わせがあります。 選択は、作業中に必要な真空に基づいています。 一般的な真空システムは次のとおりです。

（1）低真空システム：機械式ポンプ（ロータリーベーンポンプまたはスライドバルブポンプ）を備えており、最大真空度は約10Paに達する可能性があります。

（2）中真空システム：ルーツポンプとメカニカルポンプ（ロータリーベーンポンプまたはスライドバルブポンプ）の組み合わせが装備されており、最大真空は2×10-1Paに達することができます。

（3）高真空システム：一般に拡散ポンプ+ルーツポンプ+機械式ポンプ（ロータリーベーンポンプまたはスライドバルブポンプ）として構成され、最終真空は2×10-3Paに達する可能性があります。

（4）超高真空システム：ターボ分子ポンプ+ルーツポンプ+メカニカルポンプ（ロータリーベーンポンプまたはスライドバルブポンプ）、最大真空度は2×10-4Paに達することができます。