Εισαγωγή του συστήματος κενού της Φούρνος κενού συμπύκνωσης

Τα συστήματα κενού έχουν γενικά μια ποικιλία συνδυασμών. Η επιλογή βασίζεται στο κενό που απαιτείται κατά την εργασία. Τα κοινά συστήματα κενού είναι τα εξής:

(1) Σύστημα χαμηλού κενού: εξοπλισμένο με μηχανική αντλία (αντλία περιστροφικού πτερυγίου ή αντλία βαλβίδας ολίσθησης), το απόλυτο κενό μπορεί να φτάσει περίπου τα 10 Pa.

(2) Σύστημα μεσαίου κενού: Είναι εξοπλισμένο με συνδυασμό αντλίας Roots και μηχανικής αντλίας (αντλία περιστροφικού πτερυγίου ή αντλία βαλβίδας ολίσθησης) και το απόλυτο κενό μπορεί να φτάσει τα 2×10-1 Pa.

(3) Σύστημα υψηλού κενού: Γενικά διαμορφωμένο ως αντλία διάχυσης + αντλία Roots + μηχανική αντλία (περιστροφική αντλία πτερυγίων ή αντλία βαλβίδας ολίσθησης), το απόλυτο κενό μπορεί να φτάσει τα 2×10-3 Pa.

(4) Σύστημα κενού εξαιρετικά υψηλού: στροβιλομοριακή αντλία + αντλία Roots + μηχανική αντλία (αντλία περιστροφικού πτερυγίου ή αντλία βαλβίδας ολίσθησης), ο απόλυτος βαθμός κενού μπορεί να φτάσει τα 2×10-4 Pa.