Introduction of Vacuum System of Вакуумная печь для спекания

Vacuum systems generally have a variety of combinations. The selection is based on the vacuum required during work. Common vacuum systems are as follows:

(1) Низковакуумная система: оснащена механическим насосом (пластинчато-роторным насосом или насосом с золотниковым клапаном), максимальный вакуум может достигать около 10 Па;

(2) Система среднего вакуума: она оснащена комбинацией насоса Рутса и механического насоса (роторно-пластинчатый насос или насос с золотниковым клапаном), а максимальный вакуум может достигать 2 × 10–1 Па;

(3) High vacuum system: Generally configured as diffusion pump + Roots pump + mechanical pump (rotary vane pump or slide valve pump), the ultimate vacuum can reach 2×10-3 Pa;

(4) Ultra-high vacuum system: turbomolecular pump + Roots pump + mechanical pump (rotary vane pump or slide valve pump), the ultimate vacuum degree can reach 2×10-4 Pa.