Vakum Sisteminin Tanıtımı Vakum Sinterleme Fırını

Vakum sistemleri genellikle çeşitli kombinasyonlara sahiptir. Seçim, çalışma sırasında gereken vakuma bağlıdır. Yaygın vakum sistemleri aşağıdaki gibidir:

(1) Düşük vakum sistemi: mekanik pompa (döner kanatlı pompa veya sürgülü valf pompası) ile donatılmış, nihai vakum yaklaşık 10 Pa’ya ulaşabilir;

(2) Orta vakum sistemi: Roots pompası ve mekanik pompa (döner kanatlı pompa veya sürgülü valf pompası) kombinasyonu ile donatılmıştır ve nihai vakum 2 × 10-1 Pa’ya ulaşabilir;

(3) Yüksek vakum sistemi: Genellikle difüzyon pompası + Roots pompası + mekanik pompa (döner kanatlı pompa veya sürgülü valf pompası) olarak yapılandırılır, nihai vakum 2 × 10-3 Pa’ya ulaşabilir;

(4) Ultra yüksek vakum sistemi: turbomoleküler pompa + Roots pompası + mekanik pompa (döner kanatlı pompa veya sürgülü valf pompası), nihai vakum derecesi 2 × 10-4 Pa’ya ulaşabilir.