ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪರಿಚಯ ನಿರ್ವಾತ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ಕುಲುಮೆ

ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿವಿಧ ಸಂಯೋಜನೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಆಯ್ಕೆಯು ಕೆಲಸದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಆಧರಿಸಿದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:

(1) ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್ (ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಪಂಪ್ ಅಥವಾ ಸ್ಲೈಡ್ ವಾಲ್ವ್ ಪಂಪ್) ಹೊಂದಿದ, ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತವು ಸುಮಾರು 10 Pa ತಲುಪಬಹುದು;

(2) ಮಧ್ಯಮ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ಇದು ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ ಮತ್ತು ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್ (ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಪಂಪ್ ಅಥವಾ ಸ್ಲೈಡ್ ವಾಲ್ವ್ ಪಂಪ್) ಸಂಯೋಜನೆಯೊಂದಿಗೆ ಸುಸಜ್ಜಿತವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತವು 2×10-1 Pa ತಲುಪಬಹುದು;

(3) ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪಂಪ್ + ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ + ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್ (ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಪಂಪ್ ಅಥವಾ ಸ್ಲೈಡ್ ವಾಲ್ವ್ ಪಂಪ್) ಎಂದು ಕಾನ್ಫಿಗರ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ, ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತವು 2×10-3 Pa ತಲುಪಬಹುದು;

(4) ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಸಿಸ್ಟಮ್: ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್ + ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ + ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್ (ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಪಂಪ್ ಅಥವಾ ಸ್ಲೈಡ್ ವಾಲ್ವ್ ಪಂಪ್), ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿ 2×10-4 Pa ತಲುಪಬಹುದು.